تنظيف سطح البلازما هي عملية يتم فيها إزالة الشوائب والملوثات من سطح العينة عن طريق إنشاء بلازما عالية الطاقة من الجزيئات الغازية ، وقد تم تصميمها لتطبيقات مختلفة مثل تنظيف السطح ، وتعقيم السطح ، وتنشيط السطح ، وتغيير طاقة السطح ، تحضير السطح للالتصاق والالتصاق ، وتعديل كيمياء السطح.